Defect Review-SEM（Defect Review-Scanning Electron Microscope）は、走査型電子顕微鏡（SEM）の応用装置。
半導体ウェーハ欠陥検査装置で検出した欠陥を、SEMを使って欠陥が認識できる程度の高倍率の画像にするのに使用。半導体等の電子デバイスの製造ラインにて、主に検査装置と一緒に使用される。